超精密电控平移台-北京卓立汉光仪器有限公司

详细信息

说明：
uKSA 系列超高精密电动平移台，按照行程分为50、100、150、200mm等四款产品，是卓立汉光开发的新型电移台，该系列电移台技术指标达到国际水平。如：闭环分辨率0.1μm，每100mm行程，直线度、平直度小于6μm。该系列产品配合卓立的控制器，定位于超高精度要求的领域应用，如：超精密的激光加工、超精密的三维扫描测量等。

特点：
● 铸钢底座，基准面精密磨削，保证整体性能稳定
● 内置进口超高精密光栅尺，闭环分辨率可达0.1μm
● 采用进口超高等级滚珠丝杠，可实现超高定位精度
● 采用进口超高等级交叉滚柱导轨，具有超高运动性能
● 标配三相步进电机，有效降低电移台运行时的振动和噪音

电机接线图

光栅尺接线图

配套产品：		应用案例：
TMC全功能运动控制系统	MC6003P系列控制器

选型表：

型号	uKSA50		uKSA100	uKSA150		uKSA200
行程(mm)	50		100	150		200
滚珠丝杠导程(mm)	4
电机型号	FHB366-D(三相)
闭环分辨率(μm)	0.1
最大速度(mm/s)	40
重复定位精度(μm)	≤2			≤2
回程间隙(μm)	≤1			≤1
运动直线度(μm)	≤6			≤10
运动平直度(μm)	≤6			≤10
自重(Kg)	15	18		22	25
中心负载(Kg)	30

技术资料

16超精密电控平移台产品样册