Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空压电扫描台-北京卓立汉光仪器有限公司

详细信息

Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空压电扫描台产品特⾊

• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)选件升级

Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空压电扫描台— 选型表

型号	Carrier200.xy. /xyz.C
运动方向	Carrier.S200.XY : X，Y 方向 Carrier.S200.XYZ : X，Y，Z 方向
底面尺寸×高度（mm）	182×150×15
主体材料	铝合金/ 不锈钢
自重（g）	1000
运动行程（um）	Carrier.S200.xy : 200×200 Carrier.S200.xyz : 200×200×200
中间通孔尺寸（mm）	77×65
运动分辨率（nm）	2
运动可重复精度（nm）	士20
线性误差	优于 0.1%
共振频率（Hz）	200(X) 150(Y)
ZD负载（g）	500
闭环传感器（闭环版本）	电容式
驱动电压	Max. 150 V
推荐使用温度	-15 ~ 40 °C
质量（kg）	1

Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空压电扫描台尺寸图