卓立·新品 | 半导体晶圆如何检测？点击查看卓立这套光谱测试系统！

2024-06-0567

半导体晶圆PL光谱测试系统

— 荧光光谱/荧光寿命/膜厚/翘曲度/反射率

产品概况

半导体晶圆PL光谱测试系统针对第三代半导体，如GaN、InGaN、AlGaN等，进行温度相关光谱和荧光寿命测试。同时可测量外延片的膜厚、反射率及相应的Mapping图。

01.半导体晶圆检测的光谱测试系统

02.荧光光谱

03.系统特点

04.系统特点

05.性能参数

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丨关于我们About Us

自1999年成立，自主研发生产:荧光/拉曼光谱系统、光谱仪、太阳能电池检测仪器、光源及探测器、电控/手动精密位移台、调整架、光学平台、光学元件等系列产品。

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