脉冲激光沉积系统 Pioneer120 Advanced PLD System

产品简介

Pioneer 120 Advanced PLD System 是一个用于制备高质量的外延薄膜独立的系统、多层异质结构和各种材料的超晶格。这个PLD系统和the Pioneer 120 PLD System 的主要区别是衬底加热阶段。先锋120采用导电加热阶段，而Pioneer 120 Advanced PLD System 采用辐射加热阶段。加热器可兼容1大气压(760托)的氧气，这是一特性用于制备外延氧化膜，需要(i)沉积在氧气中，(ii)沉积后退火在氧气中，以及在接近1大气压的氧气中冷却。由于基底不与加热器直接连接，可以连续旋转360度。衬底也可以负载锁定。

这个脉冲激光沉积系统包括一个自动多目标转盘，带有目标旋转、目标光栅和软件控制的多层和超晶格沉积所需的目标选择。闭环压力控制提供了使用质量流量控制器的精确过程压力控制。干式泵是由机械隔膜泵或涡旋泵支持的涡轮分子泵组合而成。该系统软件(Windows 7, LabView 2013) 控制基材加热器、目标转盘、过程压力、系统泵和激光触发。由于衬底可以转移，可进行多种选择。这些包括但不限于将PLD系统与各种其他沉积平台(如超高真空溅踱系统)集成，也与超高真空分析系统(如XPS/ARPES等)集成。

产品特点

1、独立的交钥匙PLD系统。 

2、外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积。

3、利用原位RHEED诊断技术沉积纳米级薄膜。

4、氧化膜沉积的氧相容性。

5、升级:负载锁定，激光加热器，RF/DC溅射，组合PLD

6、与超高真空溅踱系统集成。

7、与XPS /ARPES超高真空集群工具集成。

技术指标

1、衬底尺寸：10mm x10mm到直径2英寸

2、沉积室：直径12英寸

3、基地真空：5 x 10^-7 Torr标准；5 x 10^-9 Torr，超高真空升级

4、衬底温度：850°C，辐射加热器，氧兼容

5、多目标传送带：6 × 1英寸或3 × 2英寸

6、质量流量控制器(s)：一个MFC氧气是标准的，更多的MFC是可选的

7、软件控制：Windows 7, Labview 2013

8、升级：RHEED, RF-DC溅射/ DC离子源，LAXS, IES，激光加热器