Filmetrics-F40薄膜厚度测量仪
结合显微镜的薄膜测量系统
Filmetrics F40 SS-Microscope-VIS-1系统 Filmetrics F40-UV SS-Microscope-UVX-1系统
Filmetrics的精密光谱测量系统让用户简单快速地测量薄膜的厚度和光学常数,通过对待测膜层的上下界面间反射光谱的分析,几秒钟内就可测量结果。
当测量需要在待测样品表面的某些微小限定区域进行,或者其他应用要求光斑小至1微米时,可以使用F40。使用先前足部校正显微镜的物镜,再进行测量,即可获得厚度及光学参数值。只要透过Filmetrics的C-mount连接附件,F40就可以和市面上多数的显微镜连接使用。C-mount上装备有CCD摄像头,可以让用户从电脑屏幕上清晰地看样品和测量位置。
相关应用
半导体制造 生物医学原件
• 光刻胶 • 聚合物/聚对二甲苯
• 氧化物/氮化物 • 生物膜/球囊壁厚度
• 硅或其他半导体膜层 • 植入药物涂层
微电子 液晶显示器
• 光刻胶 • 盒厚
• 硅膜 • 聚酰亚胺
• 氮化铝/氧化锌薄膜滤镜 • 导电透明膜
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