优尼康科技有限公司
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Herz-UT-1000A主动式减震平台

概述

        UT-1000A平台为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供稳定的主动隔振性能(从0.5Hz开始)。UT-1000A平台通过消除,干扰测量的破坏 性低频振动噪声,帮助用户从显微镜中获得更多信息。

        采用了超薄型和模块化设计,简化了安装过程,从而在安装时不需要 为大多数仪器安装专用的起重设备(这个方案适合绝大数的EMs)。

 

AVI系列的内部技术:

☆ 主动减震范围 1 to 200 Hz (搭配LFS 系统由0.5Hz开始)

☆ 被动减震模式 ≥200 Hz 

☆ 隔离来自六个自由度的振动 

☆ 无低频共振 

☆ 先进的压电传感器和驱动器 

☆ 内部反馈回路阻尼谐振

☆ 紧凑,模块化的设计

☆ 安装方便,无需持久维护 安装后基本不改变显微镜的整体轮廓为每台电镜做单一的定制

 

热门应用

        Herz-UT-1000A平台广泛的应用于高负载显微镜和其他对低频振动噪声敏感的精密型研究仪器。Herz-UT-1000A平台最常见的应用是电子显微镜,它支持扫描电子显微镜和透射电子显微镜,获得了业界一致的认同。世界各地的终端用户和OEM厂商们发现,相对于竞争者解决方案,Herz-UT-1000A平台的扁平化模块设计是有利的,因为它简化了安装过程,消除了持续维护的必要。

 

 

Herz-UT-1000A 平台广泛应用于

☆ SEMs & TEMs

☆ 超高真空扫描探针显微镜 (UHV-SPM)

☆ 光刻设备 

☆ 高精度计量设备 

☆ 光谱测量设备 

☆ And More!

 


UT-1000A平台为电子显微镜和类似的大型研究仪器提供稳定的主动隔振性能(从0.5Hz开始)。UT-1000A平台通过消除,干扰测量的破坏 性低频振动噪声,帮助用户从显微镜中获得更多信息。
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