震动隔离系统-防振台的使用

1.概况

电镜和其它精密仪器对环境震动要求很高，例如电镜要求X、Y、Z方向的低频震动（0~30Hz）＜6微米；30Hz以上的高频震动＜12微米.。20Hz以下的低频震动，对电镜的干扰影响Zda。如果超过该指标，电镜在高倍率（1万倍以上）照相，就难于得到理想图像。

普通扫描电子显微镜（SEM）当安置到楼房高层（2层以上），或置于有强震动的场地时（例如附近地下有地铁，），高倍率3万倍以上观察、照相就无法进行。而必须使用震动隔离系统-防振台。

场发射电镜（FEM）要在几十万倍观察和照相，对震动要求更高。即便安装在一楼，也都不能满足要求。一般都要求安装防振台。

当然，用于电镜的防振台更适于其它精密仪器。

瑞士Table Stable公司的AVI400型是世界上的防震台。它为2个分离单元的隔振垫块，安装非常方便。

2.原理

防振台有2钟：被动式和主动式的。

被动式的是采用橡胶、金属弹簧、空气弹簧等，20Hz以下的低频震动减震效果很差，在0~20Hz 会增加SEM 的谐振，不被采用。

主动式的是采用3维探测器，检测3维方向（X、Y、Z）传来的外部震动，由PID(     )控制器产生等幅、反相的控制信号，再由执行机构产生等幅、反相的内部震动来抵消或减弱外部的震动干扰。现在，国外技术先进的防振台都是主动式的，常用的有压电陶瓷式、空气式、电磁式、电动机式等。

3.选型

瑞士Table Stable公司的执行机构-隔振垫块，是2个长条式的模块，体积轻巧，体积小，安装方便，价格适中，国内用户较多。相比德国B公司、美国T公司的执行机构-隔振垫块都是方形平台式的，体积大，安装不便，价格贵，且需要SEM的厂家现场协助。

4.实用效果

客户的EVO MA 25 SEM安装在3楼，1万倍以上照相无法进行。2012年12至今，使用瑞士的AVI-400型防震台，保证了电镜的正常使用，10～20万倍照相，也可以得到满意图像。请见如下照片:

防震前

防震后

（来源：优尼康科技有限公司）