Parylene涂层设备P260
技术参数:
Parylene N, C, D, F-VT4,F-AF4
涂层厚度: 0.05 ~ 100 um
裂解管功率及温度: 4 kW / max. 850 °C
Gas injection: homogenous dispersal system
样品舱:Φ640*H800mm
样品台:Φ560*H650mm
耦合剂CVD一体化设计
冷却方式:液氮
等离子预处理模块:80kHz 0~5kW
真空泵系统:
Leybold D60双级油泵,排气速度63m3/h,极限真空度0.5Pa
控制: Windows Full PC
外形尺寸:W2600*D1000*2000mm
旭阿科技(上海)有限公司
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