德国原装进口 Diener Parylene 涂层设备 P300

Parylene涂层设备P300

主要技术参数：

parylene N, C, D, F-VT4

控制: Windows Full PC

涂层厚度: 0.05 ~100 um

外形尺寸：W2700*D2600*1600mm:         

裂解管功率及温度: 4 kW / max. 850 °C  

样品舱：Φ700mm*H720mm

样品台：Φ600mm*H660mm

耦合剂CVD一体化设计

冷却方式：液氮

真空泵系统：

Leybold D60双级油泵,排气速度63m3/h,极限真空度0.5Pa

外尺寸：L2200*W2700*H1600mm（不包含真空泵）