Parylene涂层设备 P6
聚二甲苯是一系列基于P-对二甲苯聚合物的总称。
聚对二甲苯涂层来自于粉末状的涂层原料,根据
分子结构的不同,Parylene可分为N型、C型、
D型、HT型等多种类型。经过一系列的化学气象
沉积,聚合而成的薄膜有着非凡的性能。
Parylene涂层优势
l 可抵抗化学和环境侵蚀,对产品无副作用
l 所形成的涂层具有wan美的均匀性、缝隙渗透性
l 室温下既可以进行涂层,防止高温损坏基材
l 润滑性能好
l 光透过性能好
主要技术参数:
1. 全自动控制
2. 涂层材料:聚对二甲苯,聚一氯对二甲苯和聚二氯对二甲苯
3. 涂层厚度:0.05~50μm
4. 热解:5KW , 最高温度 700℃
5. 进气含均匀分散系统
6. 冷却:液氮zuidi可达﹣100℃
7. 极限压力:1×10-3mbar ,配有两个皮拉尼传感器
8. 涂层腔体尺寸,Ø200 mm*L200mm,容积约6.28L
9. 旋转架尺寸:Ø170mm*L170mm
10. 真空泵系统:双级螺旋泵 16 m3/h, 莱宝 D16B
11. 连接件:25mm真空管,泵与主机连接件,6 bars 干燥无油的空气
12. 外尺寸:W700*D500*H700mm
13. 电源电压:400V/16A/50-60Hz
旭阿科技(上海)有限公司
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