FEMTO SCIENCE 等离子清洗机 CUTE 频率可调-旭阿科技（上海）有限公司

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CUTE系列是Femto Science Inc.’s公司小型桌面真空等离子设备，可以为各种需要等离子表面处理的材料提供有效的解决方案。

该设备可用于等离子清洗，等离子活化，等离子蚀刻等材料表面处理。

一、产品特点：

1、等离子蚀刻 (中性主导)

2、铝制腔体140*200*110mm（W*D*H）

3、等离子发生器20~100KHz,功率 100W可调

4、流量控制器(Max100sccm，最多3个通道)

二、系统配置：

1、外形尺寸：440×500×560 mm(长×宽×高)

2、主系统：

•卧式矩形腔体，无焊接的单块铝(最大限度地减少泄漏)，

内部尺寸：140x200x110 mm(WxDxH)

•均匀气流设计

• PE模式(单电极)

•真空流量计：皮拉尼(约5x10-4Torr)

3、流量控制器(MFC)：

•高重复性MFC

•数量：2(Forx2气体管路)

•工艺气体：O2、Ar、N2、空气等气体都可使用/气体流量：Max100sccm(以1 sccm为增量可调)

4、发生器：

•频率范围：20~100 kHz(以10 kHz为增量可调)

•功率：最大100W(1 W增量可调)

5、控制软件：

•整个系统具有高度可控性的交互式用户界面

•7英寸触摸式彩色屏，工业级PC系统软件控制

•手动和全自动模式(最多10个预先存储的工艺配方)

• USB闪存数据传输

6接口：

气路接口为1/4“接头紧锁螺母

7配件：

真空泵，国产飞越