Harrick基本型等离子清洗机

Harrick基本等离子清洁器是一种紧凑的、廉价的桌面型等离子仪器，带有铰链门、观察窗和精细控制计量阀，适用于纳米级表面清洁和小样品的激活。

主要特征

紧凑型桌面装置
可调节RF功率设置（低，中，高）
最大射频功率18W 
包括3“直径x 6.5”长度
铰链门带观察窗
主动风扇冷却
用于真空泵的整体开关
1/8“NPT计量阀定性控制气体流量和腔室压力
1/8“NPT三通阀快速切换引入气体，排气和隔离腔
重量：13磅
尺寸：8.5”H x 10“W x 8”D

可选  PlasmaFlo气体混合器允许定量控制
最多两种的工艺处理气体，并在真空压力的监测
可选石英腔室和样品盘