中科艾尔（北京）科技有限公司
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AEROTECH精密气体减压器Pa-BB

Pα-BB精密气体减压器。单级膜片式设计；低压输入，低压大流量输出，输出压力稳定；用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量1000L/min。


工作条件：

进口压力2MPa
出口压力0～0.8MPa
CV值1.55
爆破压力10MPa
原压变动0.0016MPa

（入口压力变化0.1MPa时，出口压力的变化量）

温度-10～+70℃
外漏率≤1×10-9Pa.M3/Sec.He
安装方式后面板安装


产品特点：

柔性膜片结构，调节顺畅，输出压力精密到0.001MPa.流量损失小

单级式减压

进口出口可以加装其他附件

主要部件电解抛光处理，增加腐蚀性

内置精密过滤器，保证气体洁净

超纯水清洗


主要部件材料：

零部件名称Part材料（Materials）
后盖BonnetSUS316
阀体BodySUS316L
阀针PoppetSUS316L
膜片DiaphragmSUS316L
密封垫SeatPTFE、PCTFE或PEEK


结构: 单级式最大输入压力: 2MPa最大输出压力: 0～0.8MPa环境温度: -10～70℃
Pα-BB精密气体减压器。单级膜片式设计；低压输入，低压大流量输出，输出压力稳定；用于半导体高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。标准流量1000L/min。

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