BF(亮视场) | X和Y轴 (2轴型) | 型号 货号 | MF-UA1010D MF-UA2010D MF-UA2017D MF-UA3017D 176-871*1 176-872*1 176-873*1 176-874*1 | MF-UA4020D 176-875*1 |
X、Y和Z轴 (3轴型) | 型号 货号 | MF-UB1010D MF-UB2010D MF-UB2017D MF-UB3017D 176-876*1 176-877*1 176-878*1 176-879*1 | MF-UB4020D 176-880*1 | |
BD(亮/暗视场 | X和Y轴 (2轴型) | 型号 货号 | MF-UC1010D MF-UC2010D MF-UC2017D MF-UC3017D 176-881*1 176-882*1 176-883*1 176-884*1 | MF-UC4020D 176-885*1 |
X、Y和Z轴 (3轴型) | 型号 货号 | MF-UD1010D MF-UD2010D MF-UD2017D MF-UD3017D 176-886*1 176-887*1 176-888*1 176-889*1 | MF-UD4020D 176-890*1 | |
观察图像 | BF(亮视场),DF(暗视场) (仅MF-UC和MF-UD型),偏光,微分干涉对比(DIC)/正像 | |||
目镜 | 屈光度调节 | 10X(标准选件) (视场数:24),15X,20X | ||
转塔 | BF(亮视场) | 等焦手动转塔/电动转塔(二选一) | ||
(二选一) | BD(亮/暗视场) | 手动转塔/电动转塔(二选一) | ||
物镜(可选) | BF(亮视场) | M Plan Apo, M Plan Apo HR, M Plan Apo SL, G Plan Apo (所有镜头) | ||
BD(亮/暗视场) | BD Plan Apo, D Plan Apo HR, BD plan Apo SL (所有镜头) | |||
透射照明:远心光学系统,内置孔径光阑,白色LED光源,无极亮度调节,冷却风扇 | ||||
LED照明装置 | 反射照明:科勒照明,可调孔径光阑,白色LED光源,无极亮度调节 | |||
照明装置 | 控制装置:电源ON/ OFF开关(主开关),100 - 240V AC电源输入连接器 | |||
(二选一) | 透射照明:远心光学系统,内置孔径光阑,卤素灯泡(12V, 50W),无极亮度调节,冷却风扇 | |||
卤素照明装置 | 反射照明:BF/ BD柯勒照明与可调孔径光阑,12V100W或12V15W卤素灯泡(可选),外部光纤照明,无级亮度调节 | |||
控制装置:电源ON/ OFF开关(主开关),100 - 240V AC电源输入连接器 | ||||
XY轴 | 测量范围 | 100×100mm 200×100mm 200×170mm 300×170mm | 400×200mm | |
Z轴 | 最大工件高度 | 150mm 220mm | ||
测量精度*2 | (X和Y轴无负载) | (2.2+0.02L) µm L:测量长度(mm) | ||
数显计数器 | 分辨力 | 1/0.5/0.1µm 可切换 |
昆山全丰精密仪器有限公司
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