科德数控股份有限公司
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激光干涉仪

  角度干涉镜放在激光头和角度反射镜之间的光路上。对于沿水平轴的俯仰测量,两个光学元件都是垂直放置的,对于扭摆测量,两个光学元件都是水平放置的。激光光束经角度干涉镜的分光镜分为两束 A1 和 A2,光束 A1 直接穿过干涉镜并从角度反射镜的下半部反射回激光头;光束 A2 通过角度干涉镜的潜望镜射到角度反射镜的另一半后,再通过角度干涉镜反射回到激光头。角度测量是通过比较 A1 和 A2 之间的光程差完成的,即角度测量与激光头和角度反射镜之间的距离,以及两个光学元件之间的距离无关。

仪器分类: 双光束
5科德激光干涉仪操作手册

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