场发射扫描电子显微镜

蔡司场发射扫描电子显微镜主要优势有：灵活的探测，4步工作流程，的分析性能

将的分析性能与场发射扫描技术相结合，利用成熟的 Gemini 电子光学元件。多种探测器可选：用于颗粒、表面或者纳米结构成像。Sigma 半自动的4步工作流程节省大量的时间：设置成像与分析步骤，提高效率。

Sigma 300 性价比高。Sigma 500 装配有的背散射几何探测器，可快速方便地实现基础分析。任何时间，任何样品均可获得准可重复的分析结果。

蔡司场发射扫描电子显微镜是基于成熟的 Gemini 技术

Gemini 镜头的设计结合考虑了电场与磁场对光学性能的影响，并将场对样品的影响降至更低。这使得即使对磁性样品成像也能获得出色的效果。

Gemini in-lens 的探测确保了信号探测的效率，通过二次检测(SE)和背散射(BSE)元件同时减少成像时间。

Gemini 电子束加速器技术确保了小的探测器尺寸和高的信噪比。