TOOL-Base主动压电地面减振平台，森泉光电

概述

TOOL-Base是一种先进的主动压电地面减振平台，用于超精密仪器和机械设备。

它适用于比典型的商业扫描电子显微镜（SEM）更大或更重的仪器，而且设备有高度限制。

TOOL-Base不局限于单一的配置，而是可以被设计成与工具的尺寸、腿的布局和高度要求紧密匹配。此外，它的容量可以与y效载荷的质量相匹配。

TOOL-Base的优势

硬安装技术 - TOOL-Base是带有内部气动振动控制系统的理想工具，提供一个稳定和坚硬的平台，以支持振动敏感的工具。

主动惯性振动x除 - TOOL-Base采用高灵敏度，低频惯性速度传感器，以实现高水平的振动衰减，即使在安静的地面上。

采用压电技术的串行设计 - 串行设计和高功率压电技术使得0。6Hz开始的有源带宽很宽，并且在2Hz开始的主动减振90%达到惯性主动减振效果。

配置灵活性 - TOOL-Base的配置可以调整，以适应刀具的底座和高度要求。

性能

使用VC-C（500 μ英寸/秒，12.5 μ米/秒 RMS）的模拟振动来测试1800磅（818千克）y效载荷

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激光控制：激光电流源、激光器温控器、激光器控制、伺服设备与系统等等

探测器：光电探测器、单光子计数器、单光子探测器、CCD、光谱分析系统等等

定位与加工：纳米定位系统、微纳运动系统、多维位移台、旋转台、微型操作器等等

光源：半导体激光器、固体激光器、单频激光器、单纵模激光器、窄线宽激光器、光通讯波段激光器、CO2激光器、中红外激光器、染料激光器、飞秒超快激光器等等

光机械件：用于光路系统搭建的 gao 品 zhi 无应力光机械件，如光学调整架、镜架、支撑杆、固定底座等等

光学平台：主动隔振平台、气浮隔振台、实验桌、刚性工作台、面包板、隔振、隔磁、隔声综合解决方案等等

光学y件：各类晶体、光纤、偏转镜、反射镜、t射镜、半透半反镜、滤光片、衰减片、玻片等等

染料：激光染料、荧光染料、光致变色染料、光致发光染料、吸收染料等等