概述
PEPS®II改进并以TMC的PEPS®（精密电子定位系统）为基础。 通过添加新的数字控制器，PEPS®II更易于使用，提供更多的功能，并具有改进的用户界面。 PEPS®II是一种用于TMC气动隔振系统的数字非接触式高度控制系统。 这种系统通常包括机械高度阀和机械高度传感连杆。 其应用范围从半导体制造设备到g善建立时间和提高产量，再到需要*佳噪声性能和平台稳定性的精密实验室环境。
特点
• 数字控制，用户友好的LCD界面
• Z轴位置重复性精度：10um
• 用于TMC 气浮隔振系统的数字式非接触高度控制系统，如Gimbal Piston™、CSP®和MaxDamp®隔振系统的非接触式电动气动高度控制，包含控气阀和机械高度传感装置。
• 通过x除传统机械高度控制系统的杠杆接触点g善隔振效果
• 可以调整以快速稳定由X-Y平台引起的运动
• 可选的“VX”功能集成了惯性传感器，用于主动阻尼垂直隔振器共振
• 隔震更敏感，可以显著减少基于空气隔离器的系统的自然共振峰，控制器安装时进行设置，不需要后续设置
系统
• 四个内部伺服阀的数字控制器
• 三个涡流接近传感器
• 传感器外部连接到数字控制器,并用于测量y效载荷的高度，俯仰和滚动
• 可以使用电脑US,B连接控制器接口进行电脑设置控制及采集数据
规格参数
物理尺寸 | PEPS® II控制器 1.72英寸（43.7mm）高 x 8.0英寸（203mm）宽 x 9.4英寸（240 mm）深 |
重量 | PEPS® II控制器：约3.0磅（1.2千克） |
环境 | 仅室内使用，*高2,000米海拔（6560英尺） |
电源要求 | 电源输入电压范围：90-230 VAC |
PEPS® II用户界面（前面板） | 电源开关 |
PEPS® II 界面（后面板） | 带EMI滤波器的交流电源输入 |
PEPS® II性能规格 | 模拟输入（单极）：8 x 12位（16位使用过采样），0 ... 3.0 V满量程 |
气动规格 | 长期高度稳定性：±50微米 |
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