振镜激光扫描的主要优势是高速和高精度,Thorlabs振镜能用于各种应用,包括光束操控、成像、激光打标、激光加、生命科学和医学诊断等领域。位置传感器集成在电机设计中,以闭环伺服控制提供可预测的线性时不变(LTI)系统。机械角度可达±20度以上,扫描速率从几Hz到几kHz不等;反射镜较小的低惯性系统通常比重系统具有更快的速度。振镜可单轴使用,也可组成多轴配置,或者配合互补技术(比如共振或多边形扫描仪)实现更复杂的扫描形状。
Thorlabs的扫描振镜系统包括已封装的扫描头,可直接用于Thorlabs的构造系统和OEM集成;还包括单独安装的反射镜和驱动器。反射镜镀膜选项覆盖可见光和红外范围,还包括优化用于Nd:YAG和CO2激光的高功率介质膜。
单轴和双轴振镜
VantagePro®高速扫描振镜反射镜定位系统用于集成到OEM或自搭建的激光束控制应用中。适用的*大光束直径为45 mm。每个系统包含1个带反射镜的振镜和1张搭配使用的驱动卡。
单轴振镜套件一般包括振镜反射镜、伺服放大器和连接电缆。反射镜镀膜选项包括用于红外和可见光的宽带膜和用于特定单波长或多波长的介质膜。完备的振镜应用还需要购买各种配件、伺服散热器、振镜安装夹具、信号源和光源等等。
双轴振镜是用于OEM加工和三轴系统的核心构造模块。经过匹配调谐的XY双轴振镜是搭建高性能扫描系统的关键,两个反射镜须确保j确的光路对准。
单轴振镜
双周振镜
振镜扫描头
VantagePro®双轴振镜扫描头可以在多种激光应用中提供二维扫描。每个扫描头由双轴振镜电机、反射镜组件、两个伺服放大器和通信电路构成。动磁式振镜速度快,准确度高,而集成的光学位置探测器确保控制j确,线性度高,漂移少。扫描头外壳紧凑,带有行业标准的机械接口,以便集成到系统中。与合适的激光和镜头组合使用时具有非常广泛的用途:打标;切割太阳能电池薄膜;表面处理和深雕;半导体材料切割、划线和修整;低功率焊接和烧结。
三轴扫描头包含标准XY双轴扫描头加Z轴电动对焦器,不用fθ镜头扫描。灵活的三轴扫描头非常适合三维非平坦面形打标,视场可达一平方米,所以只用单通扫描就能处理整块太阳能电池板,而聚焦光斑直径可低至22 µm,还可以通过故意散焦控制热量。
高速对焦扫描头结构紧凑,提供3轴扫描能力,适合*大450 x 450 mm²的视场尺寸。它包含BLINK高带宽Z轴对焦器,用于扫描轮廓明显的表面。整体封装的设计易于集成到台面工作站和装配线中。此外,这款扫描头还包含反射镜,所镀膜层适用于Nd:YAG(1064 nm)激光器。
高速对焦器
BLINK高速对焦器采用音圈设计,优化提高扭矩并降低运动质量,提供可达50g的c高加速度,支持Ø1/2英寸透镜和13 mm大行程。相比传统线性位移台,BLINK能以50%的功耗提供加快几乎50%的扫描速度,所以是更紧凑、更g效的方案。
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