Thorlabs 单轴扫描振镜系统，扫描角度±22.5°，动磁式电机设计-森泉光电有限公司

详细信息

特性

● 动磁式电机设计，实现快速响应(对于Ø7 mm光束，反射镜扫描0.4°的响应为250 µs)

● 高精度光学或电容式反射镜位置探测(详情请看下表)

● 提供三种反射镜镀膜：

○ 有保护层的银膜，450 nm - 10.6 µm

○ Nd:YAG激光器介质膜，三倍频，355 nm

○ Nd:YAG激光器介质膜，1064 nm

● 633 nm下具有高反射率，用于对准激光器

● 模拟PID控制电路，带电流阻尼

● 附带24英寸(610 mm)驱动电缆

● 可单独购买电源、命令接口电缆、电源线和安装座

● 可根据要求定制膜层(更多信息，请联系技术支持)

Single-Axis Galvanometer Scanner Selection Guide
Item # Prefix (X- or Y-Axis)	Mirror Coatingsa			Max Beam Diameter	Position Detector
Item # Prefix (X- or Y-Axis)	-AG	-Y3	-Y1	Max Beam Diameter	Position Detector
QS7(X)(Y)				7 mm	Optical
QS10(X)(Y)				10 mm
QS15(X)(Y)				15 mm
QS20(X)(Y)				20 mm
QS30(X)(Y)		-		30 mm	Capacitive
QS45(X)(Y)		-		45 mm	Capacitive
Power Supply & Command Cables

型号后缀、膜层和波长范围：

-AG：有保护层的银膜，450 - 10.6 µm
-Y3：Nd:YAG激光器介质膜，三倍频，355 nm
-Y1：Nd:YAG激光器介质膜，1064 nm

应用

● 激光打标

● 增材制造

● 激光雕刻

● 焊接

● 微加工

● 激光钻孔

● 烧蚀/表面纹理

● 切割/划线

● 激光扫描显微镜

● 激光投影

概述

VantagePro®高速扫描振镜反射镜定位系统用于集成到OEM或自搭建的激光束控制应用中。我们提供多种型号，适用的*大光束直径为45 mm。每个系统包含1个带反射镜的单轴振镜电机和1张搭配使用的驱动卡。使用夹具可以安装反射镜/电机组件，以固定伺服轴。兼容的±15 V电源(开放式或封闭式)以及命令接口电缆和安装座都在下方单独出售。有关配合振镜使用的电源、电缆和安装座列表，请看振镜兼容性标签。

用户须提供函数发生器或其他模拟电压输出设备，才能操作伺服驱动器。反射镜有三种镀膜选项，如右表所示。可根据要求定制镀膜。更多详细信息，请联系技术支持。

伺服驱动板

这些闭环伺服驱动器获取电机内部位置探测系统的信号，产生将反射镜转动到所需位置的驱动电压。高带宽确保快速准确地追踪模拟命令波形。

两种驱动器均有比例-积分-微分(PID)伺服驱动电路，并带有先进的电流阻尼功能，可实现高性能。驱动器集成了低噪声组件，以很大程度地提高信噪比，优化准确度；还集成了低偏移组件，以降低温度变化的影响。根据反射镜-振镜组合选择并调整陷波滤光片，以很大程度地提高系统带宽，从而实现更快、更准确的扫描。这些系统非常适合步进定位、矢量定位(如激光打标)和光栅定位(打印或扫描激光显微镜)等应用。

伺服系统经过优化，能够在各类应用中实现高速j确定位。针对用于*大光束直径≥15 mm的扫描仪，伺服系统还配有双输出功率放大器，可在不降低性能的情况下保持对较大电机的功率需求适中。伺服驱动电路提供软启动/停止操作、AGC开路故障以及过压/欠压保护。电路板上的LED指示灯表示伺服状态和故障情况，同时诊断端口可提供位置、速度、错误和电流信息。每个驱动器-振镜-反射镜组合都会经过测试和调整，以满足相应的规格。振镜的w一序列号也标在其对应的驱动板上。请注意，X轴和Y轴驱动器有各自搭配使用的伺服器，不可互换。

规格

Galvanometer Scanner Specs
Item # Prefix		QS7X QS7Y	QS10X QS10Y	QS15X QS15Y	QS20X QS20Y	QS30X QS30Y	QS45X QS45Y
Max Beam Diameter		7 mm	10 mm	15 mm	20 mm	30 mm	45 mm
Mirror Substrate		Fused Silica					Silicon Carbide
Step Response Time (0.4° Optical)		250 µs	350 µs	600 µs	650 µs	1200 µs	1200 µs
Mechanical and Electrical Specs
Rated Excursion		±22.5° Opticala
Rotor Inertial Load	Recommended	0.17 g·cm2		1.8 g·cm2		5.1 g·cm2
	Max	0.85 g·cm2		9 g·cm2		25 g·cm2
Torque Constant		40 000 dyne·cm/A		180 000 dyne·cm/A		280 000 dyne·cm/A
Coil Resistance		1.3 Ω		3.0 Ω		5.8 Ω
Coil Inductance		76 µH @ 1 kHz		530 µH @ 1 kHz		450 µH @ 1 kHz
Position Detector
Type		Optical				Capacitive
Linearity		99.8% @ ±20°				>99.9%
Gain Drift		50 ppm/°C				50 ppm/°C
Offset Drift		30 µrad/°C				40 µrad/°C
Repeatability		10 µrad				15 µrad
Output Signal (Typ.)	Differential Mode	7.1 µA/° Optical				40 µA/° Optical
	Common Mode	385 µA				2100 µA
Supply Current		30 - 40 mA				10 - 20 mA
General Specs
Operating Temperature		0 to 40 °C (Non-Condensing)
Storage Temperature		-10 to 50 °C
Servo Shaft Size		Ø14 mm x 26.3 mm		Ø22 mm x 50 mm		Ø30.5 mm x 30 mm
Mass (Without Cable)		36 g		128 g		306 g

a. 光学角度是机械角度的2倍。

Mirror Coating Specs
Item # Suffix	-AG	-Y3	-Y1
Coating Type	Protected Silver	Hard Dielectric for Nd:YAG Laser 3rd Harmonic	Hard Dielectric for Nd:YAG Laser Fundamental
Absolute Reflectance	≥92% (450 - 500 nm) ≥94.5% (500 - 2000 nm) ≥98% (2 - 10.6 µm)	≥99% (355 nm) ≥80% (633 nm)	≥98% (1064 nm) ≥80% (633 nm)
Surface Quality (Scratch-Dig)	40-20	20-10	40-20

Servo Amplifier Specsa
Item # Prefix	QS7(X)(Y) QS10(X)(Y)	QS15(X)(Y) QS20(X)(Y) QS30(X)(Y) QS45(X)(Y)
Inputs
Command Input Range	±5 V
Position Input Scale Factor	0.22 V/° Optical
Command Input Impedance	400 kΩ (Differential) 200 kΩ (Single Ended)	20 kΩ ± 1% (Differential) 10 kΩ ± 1% (Single Ended)
Position Offset Range	±0.25 V
External Enable	TTL (Low: Disable Drive)	See Footnote b for Details
Diagnostic Outputs
Servo Ready	TTL	12 V
Position	0.22 V/° Optical
Position Error	0.22 V/° Optical
Velocity	Analog (Reference Only)
AGC Voltage	Analog (DC)
Coil Current	1 V/A
Analog Output Impedance	Unbuffered	1 kΩ ± 1% (For All Outputs)
Power Supply (Not Included)
Input Voltage	±15 VDC < 100 mV Ripple < 0.5% DC to 30 MHz Noise	±15 to ±24 VDC < 100 mV Ripple < 0.5% DC to 30 MHz Noise
Maximum Drive Current Limit	3 A (RMS); 10 A (Peak)	4 A (RMS); 10 A (Peak)
Quiescent Current	220 mA (Servo Enabled, Galvo at Rest)
Gain Drift	Up to 20 ppm/°C
Offset Drift	Up to 26 µrad/°C	Up to 30 µrad/°C
General Specs
Operating Temperature	0 to 45 °C (With Appropriate Cooling)
Storage Temperature	-10 to 60 °C
Dimensions	2.38" x 2.22" x 1.06" (60.5 mm x 56.4 mm x 27.0 mm)	2.38" x 2.13" x 1.06" (60.5 mm x 54.1 mm x 27.0 mm)
Mass (Weight)	49 g (1.7 oz)	74 g (2.6 oz)

森泉为您的科研事业添砖加瓦：

激光控制：激光电流源、激光器温控器、激光器控制、伺服设备与系统等等

探测器：光电探测器、单光子计数器、单光子探测器、CCD、光谱分析系统等等

定位与加工：纳米定位系统、微纳运动系统、多维位移台、旋转台、微型操作器等等

光源：半导体激光器、固体激光器、单频激光器、单纵模激光器、窄线宽激光器、光通讯波段激光器、CO2激光器、中红外激光器、染料激光器、飞秒超快激光器等等

光机械件：用于光路系统搭建的 gao 品 zhi 无应力光机械件，如光学调整架、镜架、支撑杆、固定底座等等

光学平台：主动隔振平台、气浮隔振台、实验桌、刚性工作台、面包板、隔振、隔磁、隔声综合解决方案等等

光学元件：各类晶体、光纤、偏转镜、反射镜、透射镜、半透半反镜、滤光片、衰减片、玻片等等

染料：激光染料、荧光染料、光致变色染料、光致发光染料、吸收染料等等

产品优势

动磁式电机设计，实现快速响应(对于Ø7 mm光束，反射镜扫描0.4°的响应为250 µs)
高精度光学或电容式反射镜位置探测