纳糯三维科技(上海)有限公司
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Nanoscribe无掩膜光刻机Quantum X shape

作为同类中超前的3D打印系统Quantum X shape 可打印任何形状,min尺寸可达100nm同时表面粗造度(Ra)小于5nm,max面积可达25 cm

具备自动滴胶模组功能的先进打印系统,过夜效率可达200个特征结构。

通用高性能双光子聚合材料,适用高分子及玻璃打印。


Reshaping precision.

作为已被工业界认可的Nanoscribe公司推出的Quantum X平台的二代加工系统,Quantum X shape双光子无掩膜光刻系统在3D微纳加工领域拥有惊人的高精度,比肩于Nanoscribe公司在表面结构应用上突破性的双光子灰度光刻(2GL ®)。全新的Quantum X shape的高精度有赖于其高能力的体素调制比和超精细处理网格,从而实现亚体素的尺寸控制。此外,受益于双光子灰度光刻对体素的微调,该系统在表面微结构的制作上可达到超光滑,同时保持高精度的形状控制。

Reshaping output.

Quantum X shape双光子无掩膜光刻系统不仅是应用于生物医学、微光学、MEMS、微流道、表面工程学及其他很多领域中器件的快速原型制作的理想工具,同时也成为基于晶圆的小结构单元的批量生产的简易工具。

Reshaping usability.

通过系统集成触控屏控制打印文件来大大提高实用性。通过系统自带的nanoConnectX软件来进行打印文件的远程监控及多用户的使用配置,实现推动工业标准化及基于晶圆批量效率生产。

 

 

主要特征:

* 纳米尺度打印:在任意空间方向上的特征尺度控制,可达100nm

* 超快体素控制和100nm处理网格的高速3D微纳加工

* 先进的振镜轨道控制保证的最快扫描速度下的轨迹准确度

* 自动化自校准路径保证的高精度激光能量控制及定位

* 可达6英寸基片和硅片的广泛选择

* 工业化批量生产: 200个标准介观尺度结构通宵产量

* 保证实用性和体验感的触控屏和远程控制功能

* 快速原型制作,高精度,高设计自由度,简易明了的工作流程

* 工业验证的晶圆级批量生产

* 通用及专用的打印材料

* 兼容自主及第三方打印材料




 

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Quantum X shape双光子无掩膜光刻系统是一款真正意义上的全能机型。基于双光子聚合技术,该系统不仅是快速成型制作的Z佳机型,同时适用于基于晶圆上的任何亚微米精度的2.5D及3D形状的规模化生产。全新Quantum X shape可以为您打印任何 2.5D 和 3D 微纳结构,提供真正意义上的设计自由度。该系统可实现您各类高纵横比结构。
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