金相显微镜BX51M-北京创诚致佳科技有限公司

详细信息

金相显微镜BX51M

暗视场可以让用户观察来自样本散射和衍射的光线。光源的光线会先穿过照明装置中的环形光学照明器件，然后在样本上聚焦。样本上的光线只是由Z 轴上的瑕疵反射形成的。因此，用户可以观测到比光学显微镜分辨极限更小的、8 nm 级的微小划痕和缺陷。暗视场适合检测样本上的微小划痕及瑕疵和检查表面光滑的样本，包括晶圆。

偏振光观察法

该显微观察技术所使用的偏振光是由一组滤镜（检偏振器和起偏振器）产生的。样本特征会直接影响系统反射光的强度。该观察法适用于观察金相组织（例，球墨铸铁中石墨的生长图案）、矿物、LCD 和半导体材料。

微分干涉（DIC）观察法

DIC 是一种显微观察技术，可以将明视场观察法中无法检测到的高度差异，用增强的对比度以浮雕或三维图像的形式表现出来。该项基于偏振光的技术，拥有三个专门设计的棱镜可供选择以满足用户的需求。该观察法适用于检测高度差异极其微小的样本，包括金相组织、矿物、磁头研磨面和硬盘表面及晶圆研磨面。

荧光观察法

半导体晶圆上的颗粒

该项技术适用于观察那些在受到专门设计的滤镜（可以按照检测需要制作）照明时会发出荧光（发出不同波长的光线）的样本。该方法通过荧光染色，应用于观测半导体晶圆表面的污物、抗蚀剂的残渣和裂痕的检测。可以添加选购的复消色差光源聚光透镜系统，从而为可见光到近红外线范围内的色差进行补偿。

IR（红外线）观察法

硅晶片层下的半导体电路

对使用了硅片、玻璃等易透射红外线的电子设备的内部进行无损检测时，IR 观察十分有效。IR 物镜也可用于近红外线技术，如：拉曼光谱仪和YGA 激光修复应用。

处理滤镜

OLYMPUS Stream 拥有各种滤镜，可用于边缘检测、平滑处理和其它操作。使用处理滤镜在拍摄的图像上进行增强和修改处理后，图像的特征变为可视化。为达到**效果，可使用预览图检查或调整滤镜的效果。

透射光观察法

LCD彩色滤镜

对于透明样本，如，LCD、塑料和玻璃材料，可通过使用各种透射光聚光镜实现真正的透射光观察。使用透射光可以在明视场、暗视场、DIC 和偏振光中对样本进行成像和检查--所有这些都在一个便捷的系统里。

自动制作3D 图像（EFI）

硬盘细节

使用BX61 或外部电动调焦单元，便可以快速地记录并组合超出焦深之外的样本的图像。只需一键操作，使用EFI 功能便可以将各个不同焦深的图像合成一幅3D 图像。的3D数据可用于3D 观察或用于测量高度和距离。

			BX61		BX51	BX51M		BX41M-LED
光学系统			UIS2光学系统（无限远校正）
机身	照明装置		反射／透射			反射		反射（对应ESD功能）
			外置12 V 100 W光源光量预调开关 LED电压指示反射／透射光转换开关		内装12 V 100 W光源光量预调开关 LED电压指示反射／透射光转换开关	内装12 V 100 W光源光量预调开关 LED电压指示		内装3 W白色LED光源光量预调开关
	对焦单元		电动调焦行程25 mm 最小刻度单位为0.01 μm		行程25 mm 微调旋钮1圈的微调行程为100 μm 最小刻度单位为1 μm 可设聚焦粗调上限停止位置，粗调旋钮张力可调
	最大标本高度		25 mm（不包含臂长调节器）			65 mm（不包含臂长调节器）
观察筒	广角视场（视场数为22）		倒置∶双目镜筒、三目镜筒、倾斜式双目镜筒正象∶三目镜筒、倾斜式双目镜筒
	超宽视场（视场数为26.5）		倒置∶三目镜筒正象∶三目镜筒、倾斜式三目镜筒
反射光照明装置	明视场等		BX-RLAA 电动明／暗视场转换电动孔径光阑		BX-RLA2 100 W卤素灯（可装高亮度光源、光纤照明装置）明视场／暗视场／微分干涉／简易偏振光视场光阑和孔径光阑（带中心输出机构）、明／暗视场法连动的ND滤镜			BX-AKMA-LED/BX-KMA-LED 3 W白色LED照明明视场／微分干涉／简易偏振光对应ESD功能仅BX-AKMA-LED具有的功能：斜射照明装置 AS（带中心输出机构）斜射照明的位置设置
	反射光荧光		BX-RFAA 电动六孔转盘内置电动光闸备有视场光阑和孔径光阑		BX-URA2 100 W汞灯、75 W氙气灯六孔分光镜组件（标准∶WB、WG、WU＋BF等）备有视场光阑和孔径光阑（带中心输出机构）及光闸机构
透射光照明装置			100 W卤素灯阿贝聚光镜／长工作距离聚光镜内置透射光滤镜（LBD、ND25、ND6）			-
物镜转换器	明视场用		电动六孔		六孔、中心输出六孔、七孔（电动物镜转换器选购件）			五孔、六孔（对应ESD功能）、七孔
	明／暗视场用		电动五孔、电动六孔、中心输出五孔		五孔、中心输出五孔、六孔（电动物镜转换器选购件）			-
载物台			带左手（右手）用同轴驱动旋钮的载物台：76 (X) × 52 (Y) mm，张力可调带左手（右手）用同轴驱动旋钮的大型载物台：100 (X) × 105 (Y) mm，附设Y轴锁定机构
ESD性能			-					表面电阻108Ω以下，放电时间少于0.2秒*
外形尺寸			约318（宽） × 602（长）× 541（高） mm		约318（宽） × 602（长） × 480（高）mm	约318（宽） × 602（长） × 480（高）mm		约283（宽） × 455（长） × 480（高）mm
重量			约25.5 kg （机身约重11.4 kg）		约20.8 kg （机身约重10.3 kg）	约19.5 kg （机身约重9.8 kg）		约14 kg （机身约重6.7 kg）
				BXFM			BXFM-S
光学系统				UIS2光学系统（无限远校正）
机身		对焦单元		行程30 mm、微调旋钮1圈的微调行程为200 μm、最小刻度单位2 μm、粗调旋钮张力可调
观察筒		广角视场（视场数为22）		倒置∶双目镜筒、三目镜筒、倾斜式双目镜筒正象∶三目镜筒、倾斜式双目镜筒
		超宽视场（视场数为26.5）		倒置∶三目镜筒正象∶三目镜筒、倾斜式三目镜筒
反射光照明装置		明视场等		BX-RLA2 100 W卤素灯（可装高亮度光源、光纤照明装置）明视场／暗视场／微分干涉／简易偏振光备有视场光阑和孔径光阑（带中心输出机构）			U-KMAS 100 W卤素灯光纤照明装置明视场／微分干涉／简易偏振光
		反射光荧光		BX-URA2 100 W汞灯、75 W氙气灯六孔分光镜组件（标准：WB、WG、WU+BF等）备有视场光阑和孔径光阑（带中心输出机构）及光闸机构			-
物镜转换器		明视场用		六孔、中心输出六孔、七孔（电动物镜转换器选购件）
		明／暗视场用		五孔、中心输出五孔、六孔转盘（电动物镜转换器选购件）
外形尺寸				约248 （宽） × 587 （长） × 249 （高） mm			约394 （宽） × 334 （长） × 276 （高） mm
重量				约9 kg（标准组合）			约6.2 kg （标准组合）

产品优势

金相显微镜BX51M的显微观察技术所使用的偏振光是由一组滤镜（检偏振器和起偏振器）产生的。样本特征会直接影响系统反射光的强度。该观察法适用于观察金相组织、矿物、LCD 和半导体材料。