气浮隔震光学平台

■台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点，上面板为1cr17优质高导磁不锈钢，经精密研磨处理，平面度高，回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、亚光效果，面板具有M6螺孔阵列，易于固定光学元件。

■隔振支撑为优质钢管焊接而成，整体坚固可靠。

■工作压力为0.35～0.6Mpa，标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作，用户只需要将气管连接进气口，就能使装置正常发挥隔振功能，气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给，便于在安静场合使用。技术指标：

■平面度：< 0.05mm/m2

■表面粗糙度：< 0.8μm

■固有频率；x方向：1.2Hz～2.0Hz  y方向：1.2Hz～2.0Hz

■减振效率：x方向＜5Hz时：86%～92%    y方向＜5Hz时：84%～90%

                x方向＜10Hz时：90%～96%  y方向＜10Hz时：88%～93%

■振幅：< 1.2μm

■荷载能力：800kg/m2

■重复定位精度：±0.05mm