四探针测试仪

四探针测试仪

产品名称：四探针测试仪

产品型号：HCTZ-2S

品牌：北京华测

一、产品介绍

HCTZ-2S四探针测试仪器是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。

HCTZ-2S双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M.标准。利用电流探针、电压探针的变换，采用两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高jing准度，也可应用于产品检测以及新材料电学性能研究等用途。

四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。

测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。

二、四探针测试探头

1、使用几何尺寸十分jing准的红宝石轴承，量具精度的硬质合金探针，在宝石导孔内运动，持久耐磨，测量精度高、重复性好。

A.探头间距1.00㎜

B.探针机械游率：±0.3%

C.探针直径0.5㎜   

D.探针材料：碳化钨，常温不生锈

E探针间及探针与其他部分之间的绝缘电阻大于109欧姆。

2、手动测试架

手动测试架探头上下由手动操作，可以用作断面单晶棒和硅片测试，探针头可上下移动距离：120mm，测试台面200x200(mm)。

三、产品应用

HCTZ-2S四探针测试仪器采用四探针双电测量方法，适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料在高温、真空及气氛条件下测量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能。采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，配备10英寸触摸屏，软件可保存和打印数据，自动生成报表；本仪器可显示电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、电导率，配备不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购。

四、产品特点

     1.TVS瞬间yi制防护技术： 光耦与隔离无非是提高仪器的采集的抗干扰处理,对于闪络放电过程中的浪涌对控制系统的防护起不到任何作用。华测独立开 发的TVS瞬间yi制防护技术，将起到对控制系统的优良防护。

     2.本仪器的特点是主机配置三个数字表，在测量电阻率的同时，一块数字表适时监测全程的电流变化，更及时掌控测量电流，一块显示2、3探针间的测量电压，另一块是显示当前1、4探针测量使用的电压，可以适当调整测量电压避免材料耐压不够而电压击穿被测材料。

 3.主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关，在测量某些薄层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护薄膜。采用低通滤波电流检测技术以保证采集电流的有效值 ，以及电流抗干扰的屏蔽。

 4.探针采用碳化钨硬质合金，硬度高、常温不生锈，探针游移率在0.1～0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配测量软件，测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正，并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的*大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均匀度，给测量带来很大方便。软件平台

5.HCTZ-800系统搭配Labview系统开发的hcpro软件，具备弹性的自定义功能，可进行电压、电流。

6.仪器通过USB转RS232连接线与电脑连接，软件可对四探针电阻率测量数据进行处理并修正测量数据，特定数据存储格式，显示变化曲线，兼容性：适用于通用电脑

7.测试系统的软件平台hcpro，采用labview系统开发，符合导体、半导体材料的各项测试需求，具备强大的稳定性和安全性，并具备断电资料的保存功能，图像资料可保存恢复，支持*新的国际标准。兼容XP、win7、win10系统。

五、软件功能

具有试验电压设置功能；

可选择试验标准

可选择是否自定义或自动试验

截止条件：时间/电压/电流;

语音提示:可选择是否语音提示功能。

统计报告：可自定报表格式

可生出PDF、CSV、XLS文件格式

分析功能：可对测试的数据进行统计。*大/*小值、平均值等。

六、技术参数

测量范围

电  阻：1×10-4~2×105Ω，     分辨率：1×10-5~1×102Ω

电阻率：1×10-4~2×105Ω-cm，  分辨率：1×10-5~2×102Ω-cm

方  阻：5×10-4~2×105Ω/□，  分辨率：5×10-5~1×102Ω/□

数字电压表

量程：20.00mV~2000mV

误差：±0.1%读数±2字

数控恒流源

量程：0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA,1A

误差：±0.1%读数±2字

四探针探头

碳化钨探针：Ф0.5mm，直流探针间距1.0mm，探针压力：0~2kg可调

薄膜方阻探针：Ф0.7mm，直流或方形探针间距2.0mm，探针压力：0~0.6kg可调

 七、注意事项

1、仪器操作前请您仔细阅读使用说明书，规范操作

2、轻拿轻放，避免仪器震动，水平放置，垂直测量

3、仪器不使用时请切断电源，连接线无需经常拔下，避免灰尘进入航空插引起短接等现象

4、探针笔测试结束，套好护套，避免人为断针