ETD-800 全自动小型离子溅射仪 博远微纳

ETD-800 型全自动等离子溅射仪外观亮丽做工精致，机箱大小仅有310mm x 260mm x 115mm。

ETD-800小型离子溅射仪是专门为扫描电子显微镜用户设计的全自动镀膜设备；操作简便，放入样品后可一键搞定；数字式计数器满足jing准定时要求，特别适用对膜颗粒大小要求高的场发射扫描电子显微镜；膜厚均匀稳定；

配有高位定性的飞跃真空泵

ETD-800 type full automatic plasma sputtering instrumentBeautiful appearance and exquisite workmanship.

ETD-800 small ion sputtering instrument is specialThe automatic coating equipment designed for users of scanning electron microscope (SEM) is designed. It is easy to operate, and can be done by one key after the sample is put into the sample. The digital counter meets the requirement of precise timing, especially the field emission scanning electron microscope which requires high size of the membrane particles; the film thickness is uniform and stable.

High qualitative jump vacuum pump

参数

配套泵:一升飞跃泵

溅射靶材:标配靶材为金靶，厚度为50mm*0.1mm。也可根据实际情况配备银靶、铂靶等。

溅射电流:最大电流50mA,工作电流20mA

溅射速率:优于10nm/min

样品仓尺寸:直径103mm，高100mm

样品台尺寸:样品台尺寸直径50mm

工作电压:220V(可做110V),50HZ

需要镀膜的样品

ETD系列镀膜仪是一款专为SEM、TEM及薄膜应用设计的真空镀膜仪，对于扫描电镜尤其是高分辨场发射扫描电镜(SEM)样品制备、透射电镜(TEM)及其它非电镜(如材料领域)镀膜应用非常理想。ETD离子溅射仪采用金属压制的标准机箱，此机箱做工精良，结构稳固。飞越牌真空泵抽数快，真空稳定性高。自主设计的微型真空阀能准确的控制好压强，保证了镀膜期间**的真空条件。真空腔室直径为165mm (6.5英寸)的硼硅酸盐玻璃，特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象；陶瓷密封高压头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。ETD系列含有电磁阀装置，在工作完毕后缓慢，平稳的进气以确保镀好的膜层尽可能的不被空气中的杂质所污染。ETD系列有七种型号：ETD-900、ETD-800、ETD-900C、ETD-800C、ETD-900M、ETD-3000、ETD-MH、ETD-CH，其中ETD-900C为一款集成了离子溅射和热蒸镀两种真空镀膜方式的系统，镀膜头可在数秒内快速完成镀膜。它既可溅射易氧化及不氧化金属（贵金属），标配一块金靶，可选金、银、铂等多种金属靶；用来制作高稳定性的碳膜和表面覆形膜，对透射电镜（TEM）的应用非常理想。

ETD-900M为一款溅射插入头为磁控系统的溅射仪，可使溅射处理期间产生的高能电子偏转，从而远离样品，这有助于创建必要的冷溅射环境以消除热影响，且确保溅射成膜中的精细颗粒结构；

ETD-3000型为一款针对材料做电极的溅射仪，较高的输出电压能使成膜更加牢固，防止膜层脱落。

仪器特点：

 金属溅射和碳蒸发两者兼备，一体化设计，结构紧凑，节约空间。

 精细颗粒溅射——适合先进的高分辨率场发射扫描电镜和钨灯丝扫描电镜制样的应用。

  定时器控制——快速数据输入，操作简单。采用定时器作为简单的操作核心，即使最不熟练的或偶而使用的操作者，仪器也能使其快速键入自己的处理数据。

  微型真空调节阀让使用者更好调节真空，以适应不同的靶材和材料，形成最更优质的薄膜。

  精细的厚度控制——使用膜厚监控选项。（选配）

  先进的碳纤维夹持上盖——简单操作，重复性好。

  标配高低可调节样品台，可放置多个样品杯。还可定制多种型号样品台。

  自动泄气装备可防止真空泵由于压差原因使油倒灌进样品室，还可避免样品突然暴露在空气中造成膜的污染。

   标准成型机箱——小巧，美观，易维护和易拆装。

特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象；陶瓷密封高压头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。

部分可选项：

 光纤夹持旋转样平台

 球型旋转台

 显微镜载玻片样品台

 用于高样品的加高腔室

 膜厚监测附件（FTM），用于可重复膜厚控制：到达理想膜厚。