似空科学仪器（上海）有限公司
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发射扫描电子显微镜 ReguluS

现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"继承了现有机型的观察和分析性能，配备SU8200系列的低噪音冷场发射电子枪*1，可以获得高稳定的束流。

通过优化电子光学系统，Regulus8240/8230/8220在1 kV条件下分辨率提高到0.9 nm，Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm，观察性能与现有机型相比提高了20％左右。

此外，为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的**性能。

  • *1

  • Regulus8240/8230/8220


特色

  • 沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2

  • 采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的**性能

  • 与现有机型相比分辨率提高了20％左右
    (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)

  • 采用污染小、高真空样品仓

  • 运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2

极低着陆电压下高分辨观察


样品：金颗粒
着陆电压：10 V

超高分辨观察


样品：Pt催化剂
加速电压：30 kV

低加速电压下高分辨EDX分析


样品：Sn球
着陆电压：1.5 kV

  • *2

  • Regulus8240/8230/8220

    规格

    项目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
    二次电子分辨率0.8 nm
    （加速电压15 kV）
    1.1 nm
    （着陆电压1 kV）*3    		0.7 nm（加速电压 15 kV）
    0.9 nm（着陆电压 1 kV）*3
    着陆电压0.1～2 kV0.01～20 kV
    放大倍率20～1,000,000倍*420～2,000,000倍*4
    样品台样品台控制3轴马达台（可选5轴马达台）5轴马达驱动
    移动范围X0～50 mm0～50 mm0～110 mm0～110 mm
    Y0～50 mm0～50 mm0～110 mm0～80 mm
    R360°
    T-5～70°
    Z1.5～30 mm1.5～40 mm
    再现性---±0.5 µm以下含±0.5 µm
     

    • *3

    • 减速模式下观察

    • *4

    • 以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率


电子枪: 钨灯丝
发射扫描电子显微镜ReguluS
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