似空科学仪器(上海)有限公司
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扫描电子显微镜 AeroSurf 15

Hitachi的扫描电子显微镜 AeroSurf 15 不仅可在真空下,还可在大气压下进行SEM观察 含水样品也无需前处理即可直接观察

特色

  • 含水样品也无需前处理即可在大气压下进行SEM观察

  • 从低真空到大气压(数 Pa~105 Pa),可在大范围压力下进行SEM观察

  • 标准搭载ES-Corrector(电子束散射校正)图像改善功能

  • 在真空模式下,除了通常的SEM观察之外,还可进行EDX分析(选配)

  • 主机采用330 mm宽度的小型设计,实现节省空间和高便利性

  • 无需等待抽真空时间,快速实现从搭载样品到观察图像的全过程

  •  

  • 概要

大气压观察(图1)

  • 样品设置在标准大气压环境下(105 Pa)

  • 配置样品的大气压仓室与SEM内部由隔膜分离,在保持SEM内部真空的同时,可对样品进行电子束照射观察

  • 而且,可通过附带的真空泵在负压下(约103~105 Pa)进行观察

低真空观察(图2)

  • 隔膜可拆卸,还可进行低真空SEM观察和EDX分析

  • 搭载了日立台式显微镜TM系列中广为采用的高灵敏度半导体背散射电子检测器


图1:大气压或负压观察时


图2:低真空观察时


规格

项目
内容
电子枪
预对中灯丝
检测系统
高灵敏度4分割半导体背散射电子检测器
加速电压
5 kV/15 kV
倍率
×15~×60,000(使用数码变焦时:×240,000)
观察压力
大气压模式(105 Pa)(装有隔膜时)
负压模式(约103 Pa~105 Pa)(装有隔膜时)
低真空模式(数 Pa~数10 Pa)(拆下隔膜时)
最大样品尺寸
直径55 mm
大小和重量
主机:330(W)×687(D)×565(H)mm, 67.0 kg(手动操作台)
控制装置:220(W)×368(D)×235(H)mm, 11.8 kg
隔膜泵:145(W)×256(D)×217(H)mm, 4.5 kg ×2台
应用实例

材料领域

含水再生纤维素纤维的干燥动态观察

样品提供:旭化成株式会社 乙部先生

将浸水的纤维先在40 kPa下缓慢自然蒸发多余水分,然后在大气压下进行了观察。
首先观察到纤维之间的水分蒸发,然后是纤维内部的水分蒸发,并因此纤维本身收缩,zui后是整个样品收缩的情景。
根据此观察的结果以及纤维干燥时和含水时的直径测试结果,得出含水时膨胀30%,和含水时的纤维膨胀率。

ZEPTORON PP(聚丙烯纳米纤维)的经时观察

试样提供:Zepto Co., Ltd.

在疏水性优异的此样品中,可看到油渗入纤维内,水分不会渗入,所以可观察到水分在纤维上的情景。

植物领域

花粉

光学显微镜观察后,无需干燥处理即可在大气压下进行SEM观察。

杜鹃花花粉



食品领域

味噌(自家制)


干燥的意大利面


在大气压下观察干燥的意大利面的表面后,在真空中观察同一样品,可观察到表面有大量裂纹。
推测是在真空环境下,样品内部的水分和空气蒸发时将试样表面破坏,即使是干燥的样品,如果想观察本来的形状,通过大气压SEM进行观察是一种有效的方法。

生物领域

大肠杆菌

大肠杆菌经过培养后,用纯水稀释,涂抹在塑料板上,用甲醇固定后进行了观察(无染色)。



电子枪: 钨灯丝
Hitachi的扫描电子显微镜 AeroSurf 15 不仅可在真空下,还可在大气压下进行SEM观察
含水样品也无需前处理即可直接观察
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