美国 Nisene Technology Group 生产的 JetEtch 自动开封机,可采用双酸刻蚀,并利用负压喷雾技术进行刻蚀。根据不 同的器件封装材料和尺寸,可设定不同的试验条件,进行定位刻蚀。主要可设置的试验参数包括:采用刻蚀酸的种 类、刻蚀酸的比例、蚀刻温度、蚀刻时间、酸的流量(酸的用量)、清洗的时间等。同时采取漩涡喷酸的方式,可大 大降低用酸量,从而能够比较精确地去除掉芯片表面的封装材料,达到较好的开封效果。根据器件的不同封装形式, 可选取不同封装开口模具,可控制开口的位置和大小,目前配有的开口模具有多种,基本满足目前的封装需要,如 适用 DIP/SIP,PLCC,OFP,PBGA,芯片倒装 BGA 和 S0 小外型封装。
Nisene 是世界领xian的专注从事失效分析自动开封、IC 芯片去层、塑封蚀刻技术研究和设备制造的美国公司,有着 28 年的自动开封和蚀刻研发制造历史, Nisene 科技公司很荣幸的介绍我们的新一代革命性酸液自动化开封 机 (Decapsulator)。我们命名为 JetEtch pro,正如其名,一个符合当今 IC 封装之开封机设计要求,新型 Jetetch 第二代 开封机秉持着我们对半导体去除处理的一贯的承诺证明了 Nisene 科技公司为符合现在直至来失效分析专业需求而 提供创新,高质量设备产品的传统; 今日 JetEtch pro 硬件,操作系统和软件完全重新设计并保留了以前熟悉的、精 密的设计以呈现比以往更灵活设计的开封机。 JetEtch pro 操作简易、直觉的软件透过简单编程的顺序逐步引导操作 员。一但设定完成,只以二个击键便使软件能完成一整个蚀刻程序。?
JetEtch Pro自动解封装置作用和特点:
基于以下原因,我们需要将IC塑封材料进行去除:
1. 检查IC元件为何失效;
2. 执行质量控制检测和测试;
3. 为了研发的要求对芯片的设计进行修订。
最初出现的是手动开封,为了检查芯片的一些缺陷而手动去除芯片外面包裹的塑封材料。但是手动开封存在着安全性不够高,重复性较差,精度控制非常低,开封速度不够快等问题。为此在这个基础上NISENE研制出自动开封机JetEtch Pro,以解决手动开封存在的问题。JetEtch Pro系统通过用酸腐蚀芯片表面覆盖的塑料能够暴露出任何一种塑料IC封装内的芯片。去处塑料的过程又快又安全,并且产生干净无腐蚀的芯片表面。整个腐蚀过程是在一定压力下的惰性气体中完成的,不但能降低金属氧化而且降低了产生的废气。这套系统被设计成在极少培训的条件下安全并易于使用。
JetEtch pro CuProtect 一些特性和优点表现如下:
1. 铜线开封技术,ZG的离子保护铜线技术。
2. 一条高亮度六线字母数字的显示在所有情况排烟柜的照明下保证绝 佳的可见性;
3. JetEtch pro CuProtect 为不同的构装类型可充分地编辑程序和存放 100 组蚀刻程序。JetEtch pro CuProtect 在产业呈 现的准确性和功能性无可匹敌;
4. 温度选择和自动精确温度检测;升降温时间快,硝酸与硫酸的切换使用只需很小的时间;
5. JetEtch pro CuProtect 酸混合选择:JetEtch pro CuProtect 软件可以使用硝酸、硫酸或混合酸,另含 13 组混酸比率;
6.具有ZG技术的泵浦可以达到jing准酸的配比和最快的腐蚀效率
7. 蚀刻剂混合选择确保准确性及重复率,1ml~6ml/sec 的酸量选择能提供更好的腐蚀效果;
8. ZG JetEtch pro CuProtect 电气泵和蚀刻头配件组;
9. 蚀刻剂流向选择:涡流蚀刻和脉冲蚀刻,JetEtch pro CuProtect 废酸分流阀;
10. 不会有机械损伤或影响焊线;不会有腐蚀性损伤或影响外部引脚;可以选择硝酸、冷硫酸进行冲洗或不冲洗;
11. 无需等待,完全腐蚀一颗样品最多只要 1~2 分钟;
12. 通常使用的治具会与设备一同提供;通常情况不需要样品制备;
13. 酸和废酸存储在标准化的酸瓶中;
14. 设备小巧,只需很小的空间摆放;安全盖净化:安全、简单、牢靠。
例子:
详细参数:
尺寸
主机(mm/英寸) 290 高 x 290 宽 x 419 深 / 11.5 高 x 11.5 宽 x 16.5 深
瓶柜(mm/英寸) 230 高 x 110 宽 x 110 深 / 9 高 x 4.25 宽 x 4.25 深
重量 (KG/磅)
17 / 38 (包含瓶柜和附件)
电源
350 W @ 95 - 130 VAC or 350 W @ 210 - 250 VAC
压缩空气/氮气要求
压缩空气 4.2 kg/cm2 / 60 –100 psi
氮气供应 2.8公升/分钟 / 0.1 立方英尺/分钟
可用的蚀刻液
蚀刻液流量:脉冲模式1、2、5或1-10mL/min;涡流模式1-6mL/min
烟硝酸
烟硫酸
硫酸(浓缩试剂)
硝酸:硫酸混合比例:6:1, 5:1, 4:1, 3:1
硫酸:硝酸混合比例 6:1, 5:1, 4:1, 3:1
温度范围
硝酸 20 – 90(°C)
硫酸 20 – 250(°C)
混合酸 20 – 100(°C)
蚀刻时间和方式
(用户可选)
1–1800秒可调,1秒的增量
脉冲蚀刻模式, 涡流蚀刻模式
程序容量: 100,用户自定义
升温时间
(用户可选)
0 – 120 秒可调,1秒的增量
清洗
硫酸、硝酸,无须清洗
储液器
500mL或1升瓶
33/38/40/45mm盖的尺寸
4个瓶子: 2个装酸, 2个装废液
证书
CE证书, SEMI S-2-93, SEMI S-2-2000
似空科学仪器(上海)有限公司
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