针对各种检查和分析任务的功能
MIX观察:让未见变为可见
BX3M的MIX观察技术组合了明场和暗场照明方法。MIX照明滑块中的LED光源,以定向暗场光线照射样品。这种方式类似于传统暗场照明,但又可为LED的不同角度光线照射提供四分象限选择功能。这种定向暗场与明场、荧光、或偏光的组合称为MIX照明,有助于突出显示缺陷和区分隆起与凹陷表面。
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传统的 明场将光线直接照射在样品上,暗场则使光线沿物镜 的周围从侧面照射样品,突出显示了划痕和缺陷。
| 先进的 MIX观察是通过一个环形LED光源来形成明场、荧光或偏光与定向暗场的组合。可以调节LED光源,选择从哪个方向进行照明。该方法可在传统方法无法观察的表面上获得独有的对比度并可突出表面特征。
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即时MIA:轻松移动载物台即可进行全景拍摄
现在不需要电动载物台,仅仅移动手动载物台上XY旋钮即可方便而快捷地拼接图像。奥林巴斯Stream软件采用图案识别技术来生成全景图像,为用户提供了比单一画面更广阔的视野。
一枚ying币的即时MIA图像。
EFI:创建超景深图像
奥林巴斯Stream软件的景深扩展成像(EFI)功能能够获取高度超过物镜焦深的样品图像,把通过不同焦面的图像叠加在一起,创建出一幅超景深图像。可以使用手动或电动Z轴机构来执行EFI,并可创建一幅高度图,以轻松地识别样品结构。也可以用Stream桌面版在离线时创建EFI图像。
HDR:同时捕捉高光和暗调区域的细节
高动态范围(HDR)使用了先进的图像处理技术,能够针对一幅图像内的亮度差异进行调节,从而减少了眩光。HDR改善了数字图像的视觉效果,从而为用户制作报告时提供专业wan美的图像。 | ||
借助HDR功能,同时清晰呈现出高光和暗调区域的细节 | 借助HDR功能,增强了对比度 |
可调整满足观察和分析的偏好要求
观察方法的选择范围宽广
反射光显微镜应用于各行各业。以下仅为一些通过不同观察方法获得的效果示例,如 明场(BF)、 暗场(DF)、微分干涉差(DIC)、偏光(PL)、荧光(FL)、红外(IR)、和透射光(TL)。 | ||
DF(示例: 表面贴装基板) | DIC(示例:球墨铸铁腐蚀检测) | PL(示例: 绢云母) |
FL(示例: 半导体晶圆上的颗粒异物) | IR(示例:电极切片) | TL(示例: LCD彩色滤光片) |
BX53M规格(用于反射和反射/透射光组合)
BX53MTRF-S | BX53MRF-S | BXFM | ||
光学系统 | UIS2光学系统(无限远校正) | |||
显微镜机架 | 照明 | 反射/透射 | 反射 | |
对焦 | 行程:25 mm 每转的微调行程:100 μm 最小刻度:1 μm 配有上限限位器,用于粗调手柄的扭力调节 | 行程:30 mm 每转的微调行程:200 μm 最小刻度:2 μm 配有用于粗调手柄的扭力调节 | ||
zui大样品高度 | 35 mm (不含高度适配器) 75 mm (带BX3M-ARMAD) | 65 mm (不含高度适配器) 105 mm (带BX3M-ARMAD) | 取决于安装配置 | |
观察筒 | 宽视野FN22 | 倒像:双目、三目、倾斜式双目 正像:三目、倾斜式双目 | ||
超宽视野FN26.5 | 倒像:三目 正像:三目、倾斜式三目 | |||
反射光照明 | 常规观察技术 | BX3M-RLAS-S 编码,白光LED,BF/DF/DIC/POL/MIX FS,AS(带对中装置) BX3M-KMA-S 白光LED,BF/DIC/POL/MIX FS,AS(带对中装置) BX3M-RLA-S 100W卤素灯,白光LED,BF/DF/DIC/POL/MIX FS,AS(带对中装置), BF/DF切换时中密度滤色片联动 | ||
- | U-KMAS 白光LED,100W卤素灯 光纤照明,BF/DIC/POL/MIX | |||
荧光 | BX3M-URAS-S 编码,100W汞灯,4孔位分光镜组件转换器,(标准:WB, WG, WU+BF等) FS,AS(带对中装置),带光闸装置 | |||
透射光 | 白光LED 阿贝/长工作距离聚光镜 | - | ||
物镜转换器 | 用于BF | 六孔,对中六孔,七孔,编码五孔(选配电动物镜转换器) | ||
用于BF/DF | 六孔,五孔,对中五孔,编码五孔(选配电动物镜转换器) | |||
载物台 | 同轴左手(右手)操作载物台: 76mm×52mm,采用扭力调节 大型同轴左手(右手)操作载物台: 100mm×105mm,带Y轴锁定装置 大型同轴右手操作载物台: 150mm×100mm,带扭力调节和Y轴锁定装置 | - | ||
重量 | 大约18.3 kg (显微镜机架7.6 kg) | 大约15.8 kg (显微镜机架7.4 kg) | 大约11.1 kg (显微镜机架1.9 kg) |
BX53M规格(用于红外观察)
BX53MRF-S | BXFM | ||
IR观察筒 | 宽视野FN22 | 倒像:三目 | |
反射光照明 | IR观察 | BX3M-RLA-S IR用100W卤素灯,BF/IR,AS(带对中装置) BX3M-URAS-S IR用100W卤素灯,BF/IR,AS(带对中装置) | |
– | U-KMAS IR用100W卤素灯,BF/IR | ||
物镜转换器 | 用于BF | 六孔,对中六孔,七孔,编码五孔(选配电动物镜转换器) | |
Stage (X × Y) | 同轴左手(右手)操作载物台: 76mm×52mm,采用扭力调节 大型同轴左手(右手)操作载物台: 100mm×105mm,带Y轴锁定装置 大型同轴右手操作载物台: 150mm×100mm,带扭力调节和 Y轴锁定装置 | – | |
重量 | 大约18.9 kg(显微镜机架7.4 kg) | 大约11.6 kg(显微镜机架1.9 kg) |
BX53M规格(用于偏光观察)
BX53MTRF-S | ||
偏光中间附件 (U-CPA或U-OPA) | 宽视野FN22 | 倒像:双目、三目、倾斜式双目 正像:三目、倾斜式双目 |
勃氏镜 | 可对焦(仅适用于U-CPA) | |
勃氏镜视场光阑 | 直径Ø3.4mm(固定)(仅适用于U-CPA) | |
切换正像镜检和锥光镜检时加入或退出勃氏镜 | 滑块位置 ● 进入 滑块位置 ○ 退出 (仅适用于U-CPA) | |
检偏镜插槽 | 旋转式检偏镜插槽(U-AN360P-2) | |
检偏镜(U-AN360P-2) | 可旋转360°的拨盘 可旋转的最小角度0.1° | |
对中式物镜转换器(U-P4RE) | 四孔,附对中装置:1/4λ偏振片(U-TAD), 试板(U-TP530) 和各种补色器均可连接补色器适配器(U-TAD)使用。 | |
载物台(U-SRP) | 带3点对中功能的偏光专用旋转载物 可旋转360°,可锁定在任何位置,360°每刻度递增1° (最小分辨率6’,使用游标尺) 45°锁定功能 可安装移动标本夹(U-FMP) | |
聚光镜(U-POC-2) | 消色差无应力聚光镜(U-POC-2),带外摆式消色差顶部透镜的可旋转360°起偏镜。 “0°”刻度处的锁定机构可调节。 NA0.9(顶部镜头内摆) NA0.18(顶部镜头外摆) 孔径光阑:直径从2mm到21mm可调节 | |
重量 | 大约16.2 kg(显微镜机架7.6 kg) |
BX53M/BXFM ESD装置
部件 | 显微镜机架:BX53MRF-S, BX53MTRF-S |
似空科学仪器(上海)有限公司
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