复旦大学磁控溅射薄膜沉积系统中标公告

　　上海教育建设管理咨询有限公司受复旦大学的委托，就“复旦大学磁控溅射薄膜沉积系统采购”项目组织采购，评标工作已经结束，中标结果如下：

　　一、项目信息

　　项目编号：HW2020052203

　　项目名称：复旦大学磁控溅射薄膜沉积系统采购

　　项目联系人：沈娴钰

　　联系方式：63820185*8112

　　二、中标信息

　　招标公告日期：2020年06月01日

　　中标日期：2020年06月23日

　　总中标金额：60.0 万元(人民币)

　　中标供应商名称：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

　　联系地址：沈阳市浑南新区新源街1号

　　中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：

　　中标标的主要设备：

　　溅射真空室500mm 1个 单价54000元

　　磁控溅射靶 3套 单价11000元

　　射频电源机匹配器500w 1台 单价42000元

　　直流检测电源500w 2台 单价5200元

　　本项目招标代理费总金额：0.6005 万元(人民币)

　　评审专家名单：

　　朱剑铭、罗勇军、王丽莉 、吴建荣、江安全

　　三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期：

　　1、本项目采购磁控溅射薄膜沉积系统一套，包括真空机组、真空腔体、磁控溅射靶组件、基片台组件、气路组件、控制系统，可适用于Au、Ag、Pt、W、Mo、Ta、Ti、Al、Si、Cu、Fe、Ni、氧化铝，氧化钛，氧化锆，ITO，AZO，氮化钽，氮化钛等。

　　2、项目地址：邯郸路220号复旦大学校内。

　　3、供货周期：合同签订后 15日内供货并安装调试完毕。

　　四、采购代理机构信息

　　采购代理机构全称：上海教育建设管理咨询有限公司

　　采购代理机构地址：钦江路88号东楼626室

　　采购代理机构联系方式：沈娴钰 63820185*8112

　　五、采购单位信息

　　采购单位名称：复旦大学

　　采购单位地址：上海市邯郸路220号

　　采购单位联系方式：张老师 65641327