复旦大学 2018-02-26 15:41:22
上海市机械设备成套(集团)有限公司受复旦大学的委托,就复旦大学反应离子刻蚀项目(项目编号:1639-184211210008/1)组织采购,评标工作已经结束,中标结果如下:
一、项目信息
项目编号:1639-184211210008/1
项目名称:复旦大学反应离子刻蚀
项目联系人:魏书真
联系方式:86-21- 65642437-108
二、采购单位信息
采购单位名称:复旦大学
采购单位地址:邯郸路220号
采购单位联系方式:魏书真 86-21- 65642437-108
三、项目用途、简要技术要求及合同履行日期:
该设备采用反应离子刻蚀(RIE)方式实现对SiO2、SiNx等介质材料和硅的干法刻蚀。反应离子刻蚀机主要由以下几部分组成:反应腔室、上电极、下电极、射频源、真空系统、气路系统、预真空室、控制系统与软件等。
四、采购代理机构信息
采购代理机构全称:上海市机械设备成套(集团)有限公司
采购代理机构地址:上海市长寿路285号恒达广场16楼
采购代理机构联系方式:张洁玮 陈永亮 86-21-32557719;86-21-32557775
五、中标信息
招标公告日期:2018年01月11日
中标日期:2018年02月11日
总中标金额:147.84884 万元(人民币)
中标供应商名称、联系地址及中标金额:
序号 | 中标供应商名称 | 中标供应商联系地址 | 中标金额(万元) |
1 | SENTECH Instruments GmbH | Schwarzschildstr.2,Brrlin,Germany | 147.848840 |
评审专家名单:
丁臻敏、朱建钢、田 震、史泰冈、周 鹏
中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求:
反应离子刻蚀;数量:1套;中标价:EUR188,000.00;质保期:12个月。
六、其它补充事宜
投标人名称 | SENTECH Instruments GmbH | 上海航扬电子科技有限公司 | 北京柯灵瑞思技术有限公司 |
评标价格(美元) | USD234,688.15 | USD242,886.01 | USD243,776.00 |
评标价格排序 | 1 | 2 | 3 |