利用NexION 2000 对半导体级盐酸中的杂质进行分析

文档简介电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）具备极ng确测定纳克/升（ng/L，PPT）甚至更低浓度元素含量的能力，是Z适合测量痕量及超痕量金属的技术。然而，常规的测定条件下，氩、氧、氢离子会与酸基体相结合，对待测元素产生多原子离子干扰。