洁净度等级标准

文档简介洁净度等级标准ISO14644根据悬浮粒子浓度这个**指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在0.1um～5.0um范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。空气洁净度分级标准：ISO14644-1（国际标准）空气洁净度等级（N）大于或等于所标粒径的粒子Zda浓度限值（个/每立方米空气粒子）0.1um0.2um0.3um0.5um1um5umISOClass1102ISOClass210024104ISOClass31000237102358ISOClass4100002370102035283ISOClass51000002370010200352083229ISOClass61000000237000102000352008320293ISOClass7352000832002930ISOClass8352000083200029300ISOClass9352000008320000293000注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。空气洁净度分级标准：GB/T16292-1996（ZG标准）粒径、数值洁净度级别尘埃Zda允许数/立方米微生物Zda允许数≥0.5um≥5um浮游菌/立方米沉降菌/皿100级3,50005110,000级350,0002,0001003100,000级3,500,00020,00050010300,000级10,500,00060,000—15英国5295标准洁净室和空气净化装置分级：空气洁净度等级（N）大于或等于所标粒径的粒子Zda浓度限值（个/每立方米空气粒子）0.3um0.5um5um10um25umC100350D10003500E1000035000F35000G100000350002000H350002000J35000020004500K3500000200004500500L200000450005000M45000050000各种国际标准的比较：美国联邦美国联邦英国标准澳大利亚标准法国标准德国标准国际标准日本标准标准209D标准209EBS529S1386AFNORX44101VDI208314644-1JACA2411—0221M1.5C0.035—13310M2.5D0.35—244100M3.5E3.540003551000M4.5G35—46610000M5.5J350400000577100000M6.5K35004000000688M79—