电子探针的基本原理及应用

文档简介电子探针方法是利用高能电子束对样品进行成分分析的方法。基本原理是利用电磁透镜聚焦的高能电子束轰击固体表面的某一点，被轰击的元素激发出特征X射线，而特征X射线辐射的频率是发射元素原子序数的函数，因而通过对特征X射线频率和强度的分析便可得到样品表面元素分布和形貌特征。

当前，电子探针是对无机和有机材料进行显微分析的Z有效的工具之一。用它可以得到样品内空间分辨率为1微米的成分信息。电子探针还可获得X射线扫描图像，显示出扫描区域内的元素分布，而且可以对感兴趣的不同区域的相对成分作比较。由于此法能分析原子序数3到92号之间的所有元素，因而已被广泛用于地质、冶金、材料和生物学等各个领域的研究。