上海微行炉业高真空系统

文档简介组成，主要应用于气氛保护烧结、材料还原、材料真空脱气，精密材料真空热处理、时效处理、CVD实验等一些需要高真空或气氛保护环境下的热处理实验。
设备特点 外观精致、操作方便、升温速度快、保温性能好、使用寿命长、扩展升级功能广等特点；
炉体参数 石英管 Φ60/L1000mm 加热区尺寸 440mm
恒温区尺寸 气氛或大气状态≤200mm 真空状态≤260mm
极限温度 气氛或大气状态≤1200℃ 真空状态≤1100℃
长时间工作温度 气氛或大气状态≤1100℃ 真空状态≤1000℃
表面温度 < 60℃（1100℃保温）
控温精度 ±1℃
Zda允许正压 ≤0.02MPa
真空系统参数 真空抽速 机械泵：4L/S 分子泵：600L/S
前级压强 ≤5Pa
空炉冷态极限真空度 1.33×10-4Pa/1.0×10-6torr
压升率 ≤1Pa/h
真空量程 电阻单元1－1.0×105Pa 电离单元量程1.0－10-5Pa
连接方式 CF60 KF40