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使用VUV椭圆偏振光谱仪和FTIR-ATR对纳米级厚度的高k介电

广东检测技术有限公司 2016-09-22
文档简介使用VUV椭圆偏振光谱仪和FTIR-ATR对纳米级厚度的高k介电
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