德国IPLAS MPCVD 微波等离子化学气相沉积系统

文档简介德国 iplas 推出的微波等离子化学气相沉积系统
（MPCVD），其真空室的形式为金属腔-石英管一体式，压力操作范围从 10mbar 到室压范围，可制 备大尺寸、优质金刚石（工艺参数得当可制备出首饰级钻石）和高均匀性的金刚石厚膜。