pco.edge 4.2 bi XU相机成像揭示有用的细节：埃赛力达科技PCO相机助力紫外线应用

文档简介现代电子产品的特征尺寸不断缩小——接近甚至小于光的波长。为了检测更小的结构，设备制造商正在寻找新的方法来提高其系统的光学分辨率，其中一种方法是减小照明的波长。

在过去，已将光源移至可见光谱的蓝端，而如今一些应用正在转向近紫外、深紫外 (DUV) 甚至极紫外 (EUV)波段。