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pco.edge 4.2 bi XU相机成像揭示有用的细节:埃赛力达科技PCO相机助力紫外线应用

本文由 广州市元奥仪器有限公司 整理汇编

2024-09-30 21:50 135阅读次数

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现代电子产品的特征尺寸不断缩小——接近甚至小于光的波长。为了检测更小的结构,设备制造商正在寻找新的方法来提高其系统的光学分辨率,其中一种方法是减小照明的波长。

在过去,已将光源移至可见光谱的蓝端,而如今一些应用正在转向近紫外、深紫外 (DUV) 甚至极紫外 (EUV)波段。

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