离子溅射仪简介

文档简介 离子溅射仪主要用于扫描电子显微的样品前处理，利用二级溅射原理产生稳定的辉光放电，将溅射源（靶材）原子覆盖到样品的表面，形成一层纳米涂层，强化样品表面的导电性能，让扫描电镜的电子束在样品表面扫描过程中的电子积累效应减弱，从而让观测者得到样品表面的微纳米结构特征，帮助深入分析研究。