文档简介在工业和研究中,高精度表面分析发挥着至关重要的作用,它可以帮助确保材料和组件实现令人满意的性能,但同时也面临着诸多挑战:表面结构错综复杂,高倾斜度区域要求横向分辨率达到数微米,而关键性微观峰谷要求垂直分析达到亚纳米级。虽然共聚焦显微技术可以提供高横向分辨率,但要实现亚纳米级垂直分辨率,则需要干涉测量技术。因此,我们将这两种测量技术相结合,推出了多功能高速3D表面测量系统Leica DCM8 -为您的所有测量观察任务提供一站式解决方案。
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