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无油涡旋真空泵的优点及应用

上海尔迪仪器科技有限公司 2021-11-19
文档简介在现有的无油真空泵当中,无油涡旋真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有下述特点:
①.无油,无摩擦——真空腔内无油,非接触,无磨损,不产生微粒尘埃污染,可获得清洁真空;
②.抽气量大——双涡旋盘,结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍,节省能源;
③.抽气效率高——带有3-4个抽气单元,压差小;大气与真空之间由O型圈密封,泄漏低;
④.非接触,良好平衡,力矩影响小,噪音低,振动小;
⑤.结构简单紧凑,相同尺寸下,运动半径小,运行平稳;
⑥.体积小,维修方便,维护费用低;
⑦.采用空气冷却,无需水冷。
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