bruker白光干涉仪在光学领域的应用

文档简介白光干涉仪作为一种Z精密的三维形貌测量设备，能准确测量亚纳米尺度的表面粗糙度。软件还能根据各种相关标准，进行表面形貌分析，获得多种参数，包括波纹度、翘曲等。