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采用配有ZX全能型测量附件的 Agilent Cary 5000 紫外-可见-近红外分光光度计对薄膜进行光学表征

安捷伦科技(中国)有限公司 2021-07-05
文档简介精确测定薄膜和多层镀膜的光学参数(使用光学镀膜的逆向工程)对于生产高质量的产品至关重要。这些数据可以给设计和生产环节提供反馈。对每一层依次进行评估后得到的逆向工程结果可以用来调整沉积参数,重校监测系统,改善对各层的厚度控制。
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