文档简介TMC Mag-NetX 主动式消磁框架系统,是TMC 公司凭借多年在控制工程领域和电子装配制造技
术经验,专为电子扫描显微镜等电磁场敏感仪器而研发的磁场消除系统。
在SEM 的使用环境里,不可避免的会遇到附近的仪器设备、电梯、输电线、地铁等所产生的电
磁场,从而影响到SEM 的成像质量和量测精度。Mag-NetX 主动侦测仪器周边的磁场环境,实时产
生一个等量且反向的磁场。Mag-NetX 是一个全方位的3 轴磁场消除系统,包含一个具备自动校准和
自检功能的专用控制器,交流和直流磁传感器,一个框架结构的亥姆霍兹线圈。这样的框架结构可
以提供ZY的磁场隔离对称性和均匀性。
Mag-NetX 主动式消磁框架系统的框架可以根据仪器规格、现场情况、客户要求等设计制作成不
同的尺寸。
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