FIB-SEM双束电镜应用之生物3D EBSD分析

文档简介EBSD 技术是近年来发展比较迅速的一项材料微观表征技术，越来越受到材料研究工作者的
青睐。随着 FIB-SEM 的普及，3D EBSD 技术也逐步进入材料学者的视野，但是由于以前在设计
上没有认真的考虑 3D EBSD 使用的方便性，使得这一技术迟迟没有得到发展。