用光学联用模块实现定点位置加工和 TEM 样品制备

文档简介双束电镜是在普通扫描电镜的基础上增加了离子枪，除了可以实现普通扫描电镜的功能外，还可以进行特定区域的加工。尤其在高校和科研院所，双束电镜ZD的作用是给 TEM 进行高质量的样品制备。