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四通道全色彩色二合一阴极荧光

文档简介阴极荧光是由加速电子撞击材料表面激发出的光子信号。阴极荧光信号的收集为 SEM 提供了许多重要信息，例如，半导体掺杂，缺陷和晶界的信息，地质样品上成带，微裂痕和过成长现象。全色 CL 具有更高的灵敏度，而彩色 CL 则揭示更多的样品结构和成分信息

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