薄膜材料的纳米力学测试解决方案

文档简介由于底材的影响，薄膜材料弹性模量的可靠测量是非常有挑战性的。特别是当薄膜厚度小于200nm的时候，限制测试10%的镀膜厚度来避免底材机械力因素是一种有效的预防原则。探针的曲率半径是许多影响因素之一。