JJF17392019数字式激光球面干涉仪校准规范

文档简介面形偏差surface form deviation,被测光学表面相对于参考光学表面的偏差。
峰谷值peak-to-valley (PV) value,面形偏差MAX值减去Z小值，简称PV值。
PVr 值robust peak-to-valley (PVr) value,面形偏差的36项Zernike多项式拟合面PV值加上3倍拟合残差(面形偏差减去36项.
3.4球面元件F 数F number of spherical optics,球面曲率半径与通光口径的比值。注:被测球面元件F数应当小于或等于干涉仪球面镜头F数，才能实现球面干涉仪全表面测量