布鲁克三维光学轮廓仪在光学领域的一些应用

文档简介光学元件在各个领域都有广泛应用，对光学元件的表面加工精度提出越来越高的要求。如何检测光学元件的加工精度，从而用于优化加工方法，保证ZZ元器件的性能指标，是光学元件加工领域的关键问题之一。